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当M2（方框2）或M7的真空度始终没有到位时，请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作；

打开分子泵之前，必须先打开冷却水阀。分子泵的叶轮停止后，必须关闭冷却水阀；

.每次停机后，必须清洗每个分子泵的入口，以保持其清洁，以避免不必要的损坏；

当出现警告信息“EF”时，检查冷却水通道是否畅通，并用机***进行检查。在再次打开分子泵之前，请确保水路畅通。当出现其他报警信号时，严禁再次启动分子泵进行后处理。shimadzu真空泵设备保养

旋片式真空泵特征：

1、体积小、重量轻、噪音低。

2、设有气镇阀，可抽除少量水蒸气。

3、极限真空度高。

4、内置强制油泵，润滑充分，。

5、设有自动防返油止回阀，双重保险装置，启动方便 。

6、保持进气压强为≤1.33*1000Pa时，仍可连续运转。shimadzu真空泵设备保养

7、不漏油，不配油，不污染工作环境

降低水环真空泵发热现象大家需要从以下几个方面进行处理：

1、抽气处加装降温设备，建议使用零下10度的冷水降温。

2、设备的前级泵工作液降温要有降温措施，水温低于20度。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

广州潽拓光电科技有限公司——岛津磁悬浮泵磁悬浮高真空分子泵维修

扩散泵的缺点是返油问题，加上挡油帽和冷阱及正确操作，其返油率可降到1×10-5mg/cm2min的地步。

油扩散泵致命的缺点就是泵油返流污染被抽系统。经过大量的研究，现代扩散泵由于增加了挡油帽、障板和冷阱等措施，使扩散泵的返油率降得很低。所有的油扩散泵都存在一定程度的返流现象。返流的气体是少量残余的碳氢化合物。返流有两个不同性质的来源：泵油分子朝向扩散泵顶喷咀的上方运动构成泵的主要的返流。其次要的返流是被泵壁冷凝的泵油的迁移或再蒸发。利用好的锅炉和喷咀设计，可使主要的返流降至低。在顶喷咀上方设置水冷挡油帽，它已成为顶喷咀的拦截返油的水冷装置，由于不断对冷帽结构的改进，使主要返流大大降低。

影响油扩散泵性能的因素如下。

1、油扩散泵的返流。磁悬浮高真空分子泵维修

2、气体分子的反扩散。

3、扩散泵油的裂化分解，一般扩散泵对其工作油的要求是饱和蒸气压以内(室温下0.00000001Pa左右)，受热稳定性好，不易被氧化，分子量大的高沸点的液体，如硅油是扩散泵中比较理想的工作油。

4、泵清洗不干净，污染物质留在泵内并重复循环，影响其真空度。

被抽气体种类、成分、杂质情况及系统工作时对污染的限制要求

被抽气体性质及对污染的要求是选择不同特性真空泵的一个重要条件。它不但与工作时泵的性能有关，而且直接与泵的工作寿命及检修维护情况有关，特别是在化工生产中，它往往是正确选泵的一个关键因素。

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涡轮增压分子泵

涡轮增压分子泵是一种排气管式泵，在固定不动的叶子中间有很多高速运转的叶子，汽体分子结构被叶子碰撞得到机械能，奔向排气管一侧。

涡轮分子泵内有多个两色主动轮叶和定轮叶，每一个轮叶上面有很多按一定视角斜置的叶片，具体的涡轮分子泵全是由多级别叶列串连构成，即按压片、定片、动片等先后更替排序，动叶片旋转时又类似电扇叶片的功效，能将汽体从一侧抽中另一侧。因为静环在静环座中长时间处于静止状态，使聚合物和杂质沉积为一体，起到了较好的密封作用。提升 分子泵的转速比，有益于提升 分子泵的抽速。

旋片真空泵主要由泵体（静子）和转子组成。在转子槽中装有两块以上的旋片，有些泵旋片间还装有弹簧。转子偏心地装在泵腔内，其外缘与泵腔顶部表面的间隙为2～3微米。转子旋转时，在离心力等作用下,旋片沿槽作往复滑动并与泵腔内壁始终保持接触,将泵腔分成两个或几个可变容积的工作室。转子顺时针方向旋转时,与吸气口相通的吸气腔容积由零逐渐增大,腔内气体压力降低，被抽气体便从吸气口源源不断地吸入。

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